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張汝寧的話如同在滾油里潑進冷水,會議室瞬間炸開了鍋。
范洪杰和幾位研究室主任面面相覷,互相之間都看出了眼神里的茫然。
顯然,眾人腦海里閃過的問題完全相同——
“發生甚么事了?”
一分鐘的沉默,仿佛凝固了空氣。
最終還是范洪杰作為代表開口:
“組長,這個‘全新物鏡系統’是指……什么?”
他只感覺自己的思維完全跟不上節奏。
張汝寧目光掃過眾人驚疑不定的臉,內心除了興奮之外,還有一絲絲竊喜——
他想起幾個月前自己剛到火炬實驗室的時候,那表現估計跟眼前的各位也差不多。
現在風水輪流轉,可算是輪到我來顯擺一下啦!
于是,并沒有直接給出回答,而是反手拋出了一個問題:
“各位,最近官方的表態,還有菊廠、華興科技的聲明,都看了吧?”
眾人紛紛點頭。
但因為誰也摸不準這個問的背后的深意,所以都沒有貿然開口。
只有相對年輕的孔學武心直口快:
“當然看了!”
張汝寧心說可算有個人配合我,趕緊追問:
“那你有沒有想過,他們憑什么敢公開承諾,能繼續按期、穩定地向全球客戶交付產品?”
這個問題也戳中了大家之前的困惑。
“倒是想過……”孔學武有些遲疑地說,“但是按照咱們之前對ArF1800的評估,單靠它量產合格7nm芯片,可能性太低了。”
他頓了頓,帶著點無奈:
“所以我估摸著……可能是緩兵之計,或者有什么特殊渠道的庫存芯片頂著……”
在缺少關鍵信息的情況下,這個思路其實非常符合常理。
只是不符合事實罷了。
“緩兵之計?”張汝寧臉上終于露出一絲得意的笑容,那是一種掌握著關鍵秘密的自信。
他環視眾人,終于揭曉答案:
“實際上,已經有人預見到了今天我們所面臨的局面,所以提前布局,在ArF1800項目框架之外設置了新的研發路線……而我帶隊出差的這段時間,就是有幸參與了這個全新物鏡模組的研制工作!”
“只不過出于保密考慮,它還是沿用了‘ArF1800’的型號名稱,并且集團內部原本的設計工作也仍然維持同步進行,一方面是用于保底,另一方面也是為了保持低調,盡可能不引起外界注意……”
這個爆炸性的解釋讓整個房間的氣氛都活躍了起來。
哪怕之前最狂野的猜測,也不及實際情況的萬分之一。
上一秒還一片死寂的會議室幾乎瞬間就炸開了鍋。
“什么?!”
“還有另一套方案?!”
“這保密級別……”
“怪不得張組神神秘秘消失這么久!”
十幾號人七嘴八舌,震驚、興奮、難以置信、恍然大悟……各種情緒交織在一起。
有人覺得時間太短難以置信:“不到一年搞出一套全新的光刻物鏡?這……這簡直神速啊!”
有人對技術來源充滿好奇:“除了咱們長光,國內還有哪家能搞出更先進的物鏡?”
這略顯混亂、如同菜市場一樣的場面讓身為臨時負責人的范洪杰臉上有點掛不住。
“肅靜!肅靜!”他趕緊用力敲了幾下桌子,“都注意點會議紀律!像什么樣子!”
張汝寧卻顯得不太在意,只是擺了擺手,示意大家安靜。
“我知道大家心里有很多問號,”他語氣平和,“我也不希望你們帶著一肚子疑問,稀里糊涂地去工作……所以有什么問題,現在可以提出來,只要是能說的,我一定解答。”
話音一落,剛才好奇技術來源的那位工程師立刻舉手。
“組長,您剛才說的‘全新物鏡系統’……除了我們長光,國內還有哪家單位有這個能力牽頭研發?”
能夠聽出,話里話外有點被蒙在鼓里的怨念。
以及不服。
雖然掩飾的很好,但無奈張汝寧本人也經歷過這么個思維轉變的流程,所以一眼看破。
“當然是火炬實驗室。”他朝著旁邊一臉吃瓜看戲表情的栗亞波示意了一下,“栗教授這次來,除了協助工作,另一個重要任務就是挑選精干力量,參與后續的總裝集成。”
說這句話的時候,語氣中還帶著些許的“恨鐵不成鋼”。
既是對自己,也是對長光集團的項目組——
怎么咱們就整不出個負折射材料呢?
怎么就讓別人搶了先呢?
在場的長光精英們,臉上同樣感覺到有些火辣。
他們一直自詡是國內光學領域的頂尖力量,結果核心突破卻來自別處……
反倒是突然被點到名字的栗亞波一個激靈,仿佛從吃瓜群眾被拉到了聚光燈下。
同時也察覺出了現場氣氛的些許不對勁。
這是此行出發之前,常浩南特地提醒過的——
大家都是人,是人就會有心態方面的波動,所以務必注意合作伙伴的情緒問題。
于是立刻直起身,臉上帶著誠懇的表情:
“過獎過獎,我們火炬實驗室只是提供了部分核心元器件,還有一些設計思路……真正的研發主體,特別是光學系統的工程化落地,依然是由張研究員,以及長光團隊牽頭完成的……”
他巧妙地捧了一把現場的東道主。
“而且,”栗亞波補充道“能在短短幾個月內,將全新的設計理念轉化為可工程應用的實物系統,這本身就證明了長光集團在光學成像領域的深厚積累和強大實力!國內第一,實至名歸!”
這番話的分寸拿捏得極好。
既點明了火炬的關鍵貢獻,又不失時機地抬高了長光團隊的地位和能力。
原本有些微妙的氣氛,頓時緩和了不少。
范洪杰等人臉上的不自在也消減了許多。
這時,另一個聲音響起,帶著強烈的期待:
“張組,栗教授!既然菊廠他們敢保證7nm芯片交付,是不是……是不是搞定了EUV光源?!”
這個問題如同投入平靜湖面的石子,瞬間激起了更大的漣漪!
尤其是剛才栗亞波神神秘秘地提到了“部分核心元器件”的說法,似乎更加印證了此人的猜測。
“對啊!EUV!”
“EUV的物鏡確實比DUV簡單!”
“要是EUV成了幾個月搞出來倒真有可能!”
眾人眼睛都亮了,充滿期待地看向張汝寧和栗亞波。
如果真是EUV,那簡直是驚天動地的突破。
可張汝寧卻緩緩搖頭,打破了眾人的幻想。
“光源,依然是DUV,193nm波長。”
眼神中的光芒黯淡下來。
“還是DUV?”
“那……那怎么做到單次曝光7nm?”
雖然礙于張汝寧的身份和權威,沒人直接質疑。
但每個人臉上都寫滿了“不太相信”四個大字。
他們都是浸淫光學系統設計多年的專家。
DUV的物理極限在哪里他們心里跟明鏡似的。
超越這個極限?
聞所未聞!
張汝寧看著眾人那副“你在逗我”的表情,心里別提有多舒坦了。
實際按照常浩南的想法,雖然具體細節確實不能在長光集團公布,但大體技術路線卻沒有這么敏感,可以提前跟這些核心骨干透露一二。
反而是張汝寧自己提出要“嚴格保密,以身作則”,主動要求等到了上滬微電子之后再統一公布……