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三天后,火炬實驗室,地下測試中心。
常浩南剛踏進大門,就看見栗亞波正指揮著幾名工程師,在中央區域緊張地搭建著一個結構復雜的光學平臺。
空氣中彌漫著全新設備特有的正己烷氣味,一系列精密元件在燈光下下反射著冷冽的光澤。
“老師,您回來了!”栗亞波抬頭看見常浩南,立刻停下手中的活計迎了上來。
雙眼有神,明顯精神頭不錯——
制定實驗方案還有設備搭建都屬于慢工出細活,犯不上每天熬夜加班。
“大部分分辨率測試需要的硬件都到了,氣浮隔振臺、高精度位移臺、光束整形器、旋轉毛玻璃、ND濾光片……”
還沒等常浩南主動開口詢問進度,他就指著平臺上一件件昂貴的設備快速匯報:
“還有那個USAF
1951分辨率靶標,11組3元素規格的,這東西雖然是標準件但用的人太少找不著現貨,還是加急空運到的……”
“現在正在調試光束準直和均勻性,預計還需要兩天時間才能完全準備好……”
一個星期的工作,足足十來分鐘才介紹完。
設備到位,只是準備工作的開始,而不是結束。
“辛苦了。”常浩南的目光掃過正在搭建的平臺,微微頷首,“分辨率測試不急這一兩天,按計劃穩步推進就好,確保系統穩定可靠。”
隨后,他話鋒一轉,語氣變得更為明確:
“不過,你現在需要優先準備另一次性能展示,明天上午,會有兩位非常重要的合作者到訪。”
栗亞波立刻領會:“還是用那個‘雙負折射平板透鏡’做基礎演示?”
“對。”常浩南點頭,“來的都是內行,看一眼光路就能知道怎么回事。”
“明白!”栗亞波神情一肅,“我馬上重新檢查一遍演示系統,保證不出紕漏。”
他知道,能讓老師如此重視,那這“合作者”的身份和分量都必定非同小可。
翌日清晨,火炬實驗室主樓。
常浩南親自來到門口迎接。
一輛中巴車的側門打開吳明翰院士率先下車。
緊隨其后的,是一位身材不高、但眼神銳利的中年人。
還親自提著一個看起來相當沉重、帶有物理鎖的黑色合金手提箱。
“常院士!”吳明翰快走兩步,熱情地與常浩南握手。
隨即側身介紹:“這位就是長光集團的張汝寧張研究員,ArF系列光刻機物鏡系統的研發負責人。”
“張研究員,歡迎!”常浩南伸出手,“久仰大名,我是常浩南。”
張汝寧把手提箱換到左手,然后才伸出右手相握:
“常院士客氣了,久仰大名這話,應該我來說才對。”
說話間,一眾隨行人員也陸續下車,分列在略靠后幾步的位置。
三人一邊寒暄,一邊進門乘上電梯,來到了位于頂層的會議室。
坐定之后,張汝寧沒有任何多余的客套,直入主題。
“常院士,吳院士之前轉達了您的需求。”他拍了拍手中的合金箱,發出沉悶的聲響,“這次,我把壓箱底的東西帶來了。”
他說著向身后示意了一下,助手見狀立即上前,將一柄鑰匙交到張汝寧手中。
“咔噠”一聲,金屬箱打開。
里面是幾塊用防震材料包裹得嚴嚴實實的硬盤。
以及一個厚厚的、封面印著“絕密”字樣的文件袋。
“這是我們長光為下一代國產ArF浸沒式光刻機‘ArF1800’項目準備的幾種核心折反式物鏡組設計方案。”
張汝寧的語氣帶著淡淡的自豪,同時還有幾分莊重。
坐在常浩南另一邊的吳明翰適時開口道:
“雖然目前還處于方案論證階段,尚未最終確定采用哪種設計路線,但毫不夸張地說,老張的方案,就代表了國內光刻物鏡設計的最頂尖水平。”
張汝寧聞言笑了笑。
但這一次,卻并未出言自謙。
而是半開玩笑半認真地說道:
“常院士,如果不是火炬實驗室的名頭,加上您親自開口,那這些東西,是絕對不可能帶出長光大門的。”
在這種場合下,需要對自己的成果表現出一些自信。
再者,過分的謙虛,也是對其它項目參與者的不尊重。
緊接著,他的語氣又恢復嚴肅:“另外,雖然是帶出來了但根據規定,不能復制,不能拍照,演示交流結束后,我必須原樣帶回。”
大家都是體制內的技術人員,自然知道規矩。
常浩南也看得出對方的重視程度已經拉滿,也趕緊配合地接了一句:
“我代表火炬實驗室,對張研究員,以及長光集團的誠意表示感謝!”
“好!”張汝寧點點頭,神情放松下來。
然后示意助手將其中一塊硬盤連接到會議室的專用電腦上:
“那我們就開始?您這邊的新理念,或許可以和我們這幾個方案交流碰撞一下。”
ArF1800項目是長光的心血,對標的是ASML的NXT:2000i系列,屬于當前DUV體系下的最頂級產品。
他也很想看看,對方能拿出什么新的理念來交流。
然而,常浩南卻輕輕擺了擺手,示意那位助手先別動:
“張研究員,先不急著看資料。”
這個態度讓另外二人有些愕然。
“火炬實驗室的新理念,是完全……顛覆性的。”常浩南解釋道,“現有設計方案本身的參考價值恐怕有限,關鍵在于思路,包括折反式系統的設計方法,還有一些關鍵過程和數據。”
張汝寧臉上的笑容微微一滯,眼底掠過一絲難以察覺的訝異和……不服氣。
參考價值有限?
他帶來的可是對標國際頂級DUV光刻機的核心光學設計方案!
這位常院士的口氣,未免太大了些。
不過,他倒也不至于表露出來,只是點了點頭:“那我們就客隨主便,聽常院士您安排就是。”
常浩南也看出了對方的小情緒,但只是起身,做了個請的手勢:
“二位跟我來。”
張汝寧和吳明翰對視一眼,都看到了對方眼中的疑惑。
對方強調兩個人,那意思當然是不能帶隨行人員。
好在這是國內,倒不用擔心什么摔杯為號沖出五百刀斧手之類的劇情。
于是兩人將隨行人員留在會議室,只身跟隨常浩南,深入到了火炬實驗室的地下測試中心。
剛一踏進測試大廳張汝寧的目光就被吸引住了。
“這是……蔡司最新的那臺三坐標測量儀?精度能達到亞微米級了!”
他幾乎不由自主地走向一臺造型精密、閃爍著金屬光澤的大型設備,如同看到稀世珍寶。
如果不是有一層窗戶擋著,怕是要上手摸一摸。
“還有這臺,同步輻射光源的小角散射裝置……”
PRO表面輪廓儀……”
張汝寧的語氣充滿驚嘆。
“這些設備的投入,簡直難以想象!”
他本人的課題組建立較早,不少設備已經并非最新型號。
而長光集團畢竟是個企業,要考慮投入產出比的問題,不可能無限制地追逐新款。
常浩南微微一笑,并未在此多作停留。
“張研究員見多識廣。不過,今天的重點不是這些。”
他引著二人,徑直走向測試中心一個相對僻靜的角落。
那里擺放著一臺看起來相當“樸素”的光路演示儀。
儀器主體就是一個帶有精密位移臺的黑色光學平臺,上面固定著光源、幾個調整架和一個觀察端口。
平臺旁邊連接著控制電腦和顯示器。
但此時正關著機。
栗亞波早已在此等候。
張汝寧快走幾步,饒有興致地湊近光路儀。
他本以為會看到一組結構復雜、鏡片林立的實驗性物鏡原型。
然而,當他來到跟前時,卻發現光學平臺中央的調整架上,只固定著孤零零的一個光學元件。
一片厚度大約幾個毫米的、長方形的……
鏡片?
它被小心翼翼地夾持在一個特制的夾具中,表面平整如新。
但無論怎么看,這都只是一片平面鏡而已。
“常院士,這是……”張汝寧疑惑地看向常浩南,又看看同樣一臉茫然的吳明翰。
他完全無法理解,這片看似普通的平面鏡,如何能與“顛覆性”的光刻物鏡設計理念聯系起來。
常浩南沒有直接解釋,只是對栗亞波點了點頭:“亞波,開始吧。”
“是,老師。”
栗亞波早已做好設置,此時只需要按動一下啟動按鍵即可。
嗡的一聲輕響,一道穩定而纖細的綠色激光束亮起
與此同時,光路儀四周厚重的遮光罩緩緩升起、閉合,將整個平臺籠罩在黑暗之中。
只有控制面板上幾個微弱的指示燈亮著。
幾秒鐘后,栗亞波輕輕點頭,讓出了觀察口的位置,示意準備就緒。
這個速度,快到如同兒戲。
吳明翰好奇心更重,率先將額頭貼上觀察口的目鏡。
然后……
安靜。
沉默。
直到幾秒鐘后。
“嘶——!”
一聲極度壓抑卻又充滿難以置信的抽氣聲,猛地從吳明翰喉嚨里發出!
他整個人如同被電流擊中,身體瞬間繃直,貼在目鏡上的額頭甚至微微后仰了一下,嘴巴張得老大。
仿佛看到了最不可思議的魔法!