正文
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中科院微電子中心出產的0.8微米工藝光刻機，其光源和光電成像照準系統都是光電所的杰作。作為光電所的一把手，趙院長對光刻機也算是大半個行家了。
只一眼，他就認出了這套光刻機的出身。1995年上半年微電子中心，才完成了0.8微米工藝光刻機的研發。產量在那里明擺著，一共也沒有生產出多少來。沒辦法，中科院當幕后老板，國內最有可能向這方面發展的夢幻集團，都放棄了走技術路線。除非國家上馬集成電路的大工程，否則根本沒有哪個單位吃飽了撐的，會去采購國產光刻機。
國產光刻機的市場占有率，不光是九十年代，哪怕到了二十一世紀也是個悲劇。魔都微電子號稱2009年就實現了90nm光刻機的國產，但是后來國內晶圓廠寧愿買國外進口的二手線，也不要他的國產貨。
在光刻機上面，為何神奇的兔子能造就白菜定律，卻偏偏不起作用了？這一點也不奇怪，因為一是核心設備沒掌握，尼康卡你的脖子。二是光刻機的良品率上不去，產品便宜的再多架不住生產成本高。
當然，魔都微電子不管怎么說，總還是做了一些成績的。周碩雖然心里惋惜，但也明白國產光刻機不行，不是它一家的問題。
總之這年頭中科院微電子中心能賣出去的光刻機可謂是鳳毛麟角，而其中的光電設備只一眼趙院長就看出來確實是出自自家之手。
不管研究成果如何，這起碼說明周碩確實在實打實投入的研究技術。趙院長看向自家產品的眼神，自然也就溫柔了許多。
“這套設備說起來，還是我在光電所的時候親手制作的。”麻友公站在趙院長的身邊，感慨的說道：“院子，不論泛翰研究院的水平如何，起碼他們確實是在踏踏實實的做技術。就這一點上來說，也不應該對他們太過苛求了。”
“哼。你現在是人家的工人了，當然替東家說話。”趙院長有些傲嬌的哼哼著，眼睛卻在光刻機上怎么也挪不開。
他收斂了一下脾氣，好奇的問道：“這就是你們改進的0.5微米工藝光刻機？究竟做了哪些改進？”
“我們改進了……”麻友公開了個頭。突然停頓了一下，無奈的搖頭道：“我和研究所簽了保密協議的，具體技術不能說。”
“德行。”趙院長撇了麻友公一眼，看的他渾身不自在。沒辦法，他這一身本身可以說，多半都是來自趙院長的傳授。如今老師問他這點問題，自己卻表現的好像什么重大機密似的，難免有些心虛。
趙院長卻沒有多做計較，只是在光刻機前前后后的打著轉，就不信自己的眼力還看不出來有什么不同。
其實雖然麻友公這多少算是叛出師門。但趙院長心底里卻并不怎么怨他的。一是光電所這些年來，確實有些對不起麻友公。二一個，心里多少也希望自己的徒弟能有一個好的歸宿吧。
從這方面來說，他其實也理解麻友公保密的做法。假使改進技術真的有效，這里面涉及到的可是數以億計的金錢。泛翰研究院是私人公司。當然不可能讓人敞開了看。
就在這時，光刻機前的指示燈突然從紅色轉換成了綠色，并且發出了一道短促的“嗶——”聲。
一張直徑的晶圓盤片，從光刻機里被機械臂穩穩的送了出來。
“這是！”趙院長哪里會不知道這是怎么回事，光刻機里吐出來的晶圓表面上看并沒有什么不同，但他知道這已經是經過了光刻的盤片。
此時這張盤片上面的光刻膠，應該已經被蒸發了一部分。只要再把這張盤片送入蝕刻機。就可以根據光刻的路徑蝕刻出集成電路。
在場的所有人，除了保安部的安保人員以外，幾乎個個都和光刻機系統扯得上關系。自然也就都明白，泛翰研究院是否已經掌握了0.5微米工藝，答案就在這一刻了。
“諸位，我們泛翰研究院究竟有沒有掌握0.5微米工藝技術。大家此時此刻可以拭目以待了！這張單晶硅晶圓是我們改造之后的第一次光刻，我請你們記住1995年10月7日這個光榮的日子……”
周碩幾乎是虔誠的，把晶圓從光刻機轉移到蝕刻機上面，并且毫不遲疑的啟動了蝕刻程序。
只是此時此刻，似乎所有人都已經忘記了他們的初衷。只是全神貫注的看著那薄薄的單晶硅晶圓。心中卻已經有些相信泛翰研究院已經實現了0.5微米工藝。
問題很簡單，若非是有十足把握，周碩又怎么有這個勇氣，在眾人面前完成蝕刻程序？甚至有的人心里已經打起了小算盤，按照國內的傳統，說不定是已經有了成功經驗之后，才玩的這個出爐把戲吧。
不管如何，周碩胸有成竹的模樣，都讓他們的態度在不自覺間發生了變化。
和光刻程序比起來，蝕刻的速度就快多了。幾分鐘之后，酸液已經把沒有光刻膠覆蓋的地方，腐蝕出了只有零點零幾微米的微痕。微小到不論是人的肉眼、或者是普通的放大鏡都無法發覺的地步。
當然，以蜂巢實驗室里面的設備，有大把大把的方法可以對其進行觀察和測量。
至少在1995年的集成電路制造水平，0.5微米的線寬，一部光學顯微鏡就已經足夠、足夠。
趙院長看了自己得意弟子麻友公一眼，微微嘆了口氣。他站出來，自報奮勇道：“周先生，我來對這張晶圓進行測量，沒有問題吧？”
周碩呵呵笑著，將晶圓鄭重的交到趙院長手里，點頭說道：“能夠有趙院長親手測量，這是泛翰研究院的榮幸。我想在場的諸位，沒有第二個人比趙院長更有公信力了。”
趙院長小心的將晶圓接了過來，搖頭道：“誰知道你是不是事先放了從其他地方得到的晶圓進去？要按照我的說法，你至少應該在我們所有人的面前，再放一張晶圓進去。”
他頓了一頓，嗤之以鼻道：“前些年社會上還流行過水變油的鬧劇，搞起這種夸張的科學技術來，向來是魔術師比科學家有本事。”
周碩似笑非笑的看著趙院長，搖頭說道：“這張晶圓是不是我們泛翰研究院生產的，趙院長一看便知。”
趙院長不置可否，他嗆上這兩句語氣說是質疑，不如說是在表明立場。畢竟這個技術是有麻友公參與的，對自己親手培養出來的弟子他還是有信心的。麻友公的學術道德如何，他心里清楚。即使生活再怎么艱難，但學術造假肯定不會落到他的頭上。
趙院長四下找了一圈，很容易就發現了一臺光學顯微鏡。這是一臺高倍的顯微鏡，最大觀測分辨率可以達到0.1微米水平。用來觀測0.5微米線寬的集成電路，可以說是輕而易舉。
他熟練的操作著實驗儀器，很快就做好了準備工作。趙院長向顯微鏡里看過去，卻不想竟然驚訝的喊了出來！
“啊！”趙院長竟然從實驗臺前倒退了半步，那樣子就如同見到了鬼一般。
趙院長很快就意識到了自己的失態，卻來得及沒有對眾人做出絲毫說明，便又急匆匆的一頭撲向了顯微鏡。
足足過了十多分鐘，他才從顯微鏡前抬起頭來，喃喃自語道：“竟然是真的，竟然是真的……”
“趙老，什么真的、假的？你看到了什么？”趙院長身邊，一個焦急的領導抓著他的衣服就問道。
“確實是0.5微米線寬！”趙院長有些苦澀，卻又有些自豪的說道。
是的，他雖然輸了打賭，但仍然足以自豪。因為這是中國人創造的奇跡，是他的得意弟子參與創造的奇跡。作為一個把一生已經奉獻給共和國科學事業的老科學家，他雖輸猶榮。
“那也不能說明什么吧，說不定是他們搞了鬼呢。趙老，一個月時間把光刻機技術提高一代，這種放衛星的說法你也信？肯定是有什么障眼法，您可得擦亮眼睛啊！”
“去！自己去看！”趙院長挺直了腰板，指向顯微鏡說道：“中國人，我們中國人一向是善于創造奇跡的民族啊！”
身邊這人帶著明顯懷疑的神色，站在顯微鏡前看了一眼，頓時也“啊”的一聲，倒退了一大步！
“怎么回事？怎么回事？”
眾人心頭一陣疑惑，趙院長一個人震驚也就算了，后面這人在有了心理準備的情況下，怎么還表現的這么不堪？
“真的！是真的！”這人看完之后，竟然也有些失魂落魄似的，念念有詞。
“咋回事究竟？我也看看！”
“啊！”
“哎，快讓我看看！”
“哎呀！真的！”
后面幾乎每一個人，在看到顯微鏡下圖案的時候，都不由自主的一付驚訝的表情。
周碩呵呵笑著制止了后面人的鼓噪，通過設備將顯微鏡觀測到的圖案，直接顯示在了實驗室的投影幕布上面。
只見這張晶圓上面蝕刻的圖案，竟然就是今天一早趙院長從面包車上跳下來的畫面！還有什么，比這個畫面更有說服力的嗎！RP